사양
Ni-E 포커싱 스테이지 타입 |
Ni-E 포커싱 노즈피스 타입 |
Ni-L | |
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광학계 | CFI60 무한 광학계 | CFI60 및 CF175 무한 광학계 | CFI60 무한 광학계 |
포커싱(초점 포인트의 스트로크) | 전동 스테이지 상하 이동을 통해 (상향 2mm/하향 13mm) |
전동 노즈피스 상하 이동을 통해 (상향 13mm/하향 2mm) |
수동 스테이지 상하 이동을 통해(상향 3mm/하향 26mm) |
내장형 선형 인코더, 해상도: 0.025μm 전동 탈착 및 재초점 메커니즘 |
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동축 조동/미동 포커싱 | |||
조명 | 할로겐 광원(12V 100W), 고연색형 LED 광원*1: 시간의 수명*2
(옵션) |
고연색형 LED 광원 내장*1: 50,000시간의 수명*2 | |
내장형 플라이아이 렌즈 내장형 NCB11, ND8, ND32 필터(분리 가능, 추가 필터 1개 장착 가능) 및 디퓨저(분리 불가) ND2 필터(옵션) |
내장형 플라이아이 렌즈 | ||
제어 장치 | 투과광 ON/OFF 스위치, 사전 설정 기능이 있는 조도 조절 다이 이미지 캡처 버튼 |
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전동 제어 스위치 내장 | — | ||
NI-ERG NI 에르고 컨트롤러(옵션) |
NI-SRCP 간단한 리모컨 패드(옵션) |
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Power supply unit | NI-CTLA 외부 전원 공급 장치 제어 박스 A(할로겐 조명용)/NI-CTLAZ 외부 전원 공급 장치 제어 박스 A2(LED 조명용) |
내장형 LED 조명 NI-CTLB 제어 박스 B는 전동/지능형 옵션이 결합된 경우에 필요합니다. |
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접안렌즈(F.O.V. mm) | · CFI 10X(22) |
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튜브 F.O.V. 22mm(접안렌즈/포트) |
· C-TB 양안 튜브 · C-TE2 인체공학적 양안 튜브(C-TEP2 DSC 포트, C-TEP3 DSC 포트 C-0.55X 또는 C-TEPF2.5 DSC 포트 F2.5X 옵션을 통해 100/0, 50/50), 경사각: 10~30도, 확장: 최대 40mm |
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F.O.V. 25mm*3(접안렌즈/포트) | · C-TT 3안 튜브 F(100/0, 0/100) |
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· NI-TT2-E 전동 4안 틸팅 튜브 (접안렌즈/상단 포트/후면 포트: 100/0/0, 0/100/0, 0/0/100), 경사각: 15~35도 |
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포트(F.O.V. 11 mm) | · 인체공학적 양안 튜브용 C-TEP2 DSC 포트(C-마운트 어댑터 포함, 0.7배) |
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· 4안 튜브용 NI-RPZ-E 전동 DSC 줌 포트(C-마운트 어댑터 포함, 전동 줌, 0.6~2.0배) | — | ||
암 | · NI-SAM 스탠더드 암 |
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· NIE-CAM 컨택트 암(전동/지능형 옵션용) |
· NIU-CAM 컨택트 암(전동/지능형 옵션용) |
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노즈피스(전동) | · NI-N7-E 전동 7중 노즈피스 · NI-ND6-E 전동 DIC 6중 노즈피스 |
— | · NI-N7-1 지능형 7중 노즈피스 · NI-ND6-E 전동 DIC 6중 노즈피스 |
노즈피스(지능형) | · NI-N7-1 지능형 7중 노즈피스 |
— | · NI-N7-I Intelligent Septuple Nosepiece |
노즈피스(수동) | · D-ND6 DIC 6중 노즈피스 · C-N6 ESD 6중 노즈피스 · C-N6A 6중 노즈피스(분석기 슬롯 포함) |
· FN-S2N 2 플레이스 슬라이딩 노즈피스(CFI60 대물렌즈용), 대물렌즈로 전환, DIC 슬라이더 삽입 가능 · FN-MN-H CFI 75 홀더(CF175 대물렌즈용), DIC 슬라이더 삽입 가능 · FN-MN-H2 CFI 90 홀더(CF190 대물렌즈용) |
· D-ND6 DIC 6중 노즈피스 · C-N6 ESD 6중 노즈피스 ESD · C-N6A 6중 노즈피스(분석기 슬롯 포함) |
스테이지 | · NIE-CSRR2 오른쪽 핸들 회전형 세라믹 코팅 스테이지(2S 홀더 포함) |
· FN-3PS2 FN1 표준 스테이지 전후 |
· C-CSR15 오른쪽 핸들 세라믹 코팅 스테이지(15 홀더 포함) · C-CSR 오른쪽 핸들 세라믹 코팅 스테이지 · NIU-CSRR2 오른쪽 핸들 회전형 세라믹 코팅 스테이지(25 홀더 포함)전후 이송거리 78(X) x 54(Y)mm 핸들 높이 및 토크 조절 가능 |
· NI-S-E 전동 XY 스테이지 해상도: 0.1 μm · NI-SH-D 접시 홀더(옵션) |
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서브스테이지 | · NI-SSR 서브스테이지 (전동 유니버설 콘덴서 및 회전형/전동 스테이지용) |
· 포커싱 노즈피스용 NI-SSF 서브스테이지(LWD 콘덴서 및 FN1 표준/전동 스테이지용) | · NI-SSR 서브스테이지(회전형 스테이지용) · NI-SS 서브스테이지(비회전형 스테이지용) |
콘덴서(전동) | · NI-CUD-E 전동 유니버설 콘덴서 드라이(0.88) |
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콘덴서(수동) | · NI-CUD 유니버설 콘덴서 드라이(0.88) |
· FN-C LWD 콘덴서(0.78) (DIC 및 경사광 조명용) |
· NI-CUD 유니버설 콘덴서 드라이(0.88) |
전력 소비 | 211W (최대 할로겐 램프 조도 및 전자동 옵션 포함 시) |
96W (최대 할로겐 램프 조도 및 전자동 옵션 포함 시) |
본체: 28W(최대 고연색성 LED강도 사용) 제어 박스 B: 68W(전자동 옵션 포함 시) |
무게(근사치) | 29 kg (전동 4안 틸팅 튜브로 반사 형광 구성) |
32 kg (전동 4안 틸팅 튜브로 반사 형광 구성) |
18 kg (인체공학적 양안 튜브로 명시야 구성) |
반사 형광 조명기 | Ni-E 포커싱 스테이지 타입 |
Ni-E 포커싱 노즈피스 타입 |
Ni-L |
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필터 큐브 터렛 | 필터 큐브 6개 장착 가능, 모든 터렛용 노이즈 터미네이터 메커니즘 · NI-FLT6-E 전동 반사 형광 큐브 터렛전동 셔터, 상태 확인 기능*5 · NI-FLT6-1 지능형 반사 형광 큐브 터렛 수동셔터, 상태 확인 기능*5 · NI-FLT6 반사 형광 큐브 터렛 |
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배광 장치 | · NI-FLEI-2 반사 형광 부착물 |
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옵션 | — | · NI-L용 NL-SC 셔터 카세트 |
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에피 조명 광원 | · D-LEDI 형광 LED 조명 시스템 |
*1 IR-DIC 관찰용으로 사용할 수 없습니다.
*2 니콘의 규정에 따라 추정된 값입니다.
*3 접안렌즈 F.O.V: 이중층의 형광 큐브 터렛과 같은 확장형 구성으로 사용하는 경우 접안렌즈 F.O.V.는 22mm입니다.
이미징 부품에 대한 F.O.V.는 모델에 따라 다릅니다.
*4 NI-SS 서브스테이지에만 장착할 수 있습니다.
*5 상태 확인 기능: 필터/노즈피스 등의 상태를 캡처한 이미지로 기록할 수 있고, PC 조작 화면에 표시할 수 있습니다.